複合砥粒を用いた研磨に適した研磨パッドの表面構造
Bibliographic Information
- Other Title
-
- フクゴウトリュウ オ モチイタ ケンマ ニ テキシタ ケンマ パッド ノ ヒョウメン コウゾウ
- Surface structure of polishing pads for polishing using composite abrasives
Search this article
Journal
-
- 立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering / 立命館大学理工学研究所 編
-
立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering / 立命館大学理工学研究所 編 (75), 57-67, 2016
草津 : 立命館大学理工学研究所
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520572357390771968
-
- NII Article ID
- 40021193131
-
- NII Book ID
- AN00250071
-
- ISSN
- 03704254
-
- NDL BIB ID
- 028176301
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles