MEMS技術を応用した省電力型マイクロCOセンサ
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS ギジュツ オ オウヨウシタ ショウデンリョクガタ マイクロ CO センサ
- Power saving type micro CO sensor fabricated by MEMS technology
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収録刊行物
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- Proceedings of the Chemical Sensor Symposium
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Proceedings of the Chemical Sensor Symposium 44 13-15, 2007-09
長崎 : 電気化学会化学センサ研究会