Characteristics of Capillary Discharge Plasma Tool for Micro-Machine Fabrications
Bibliographic Information
- Other Title
-
- Characteristics of Capillary Discharge Plasma Tool for Micro Machine Fabrications
- マイクロマシーン作成用の細管放電プラズマシールの特性
Search this article
Journal
-
- 東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編
-
東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編 (49), 1-11, 2001-12
東京 : 東京電機大学工学部
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520572357417373696
-
- NII Article ID
- 40005877100
-
- NII Book ID
- AN00162961
-
- ISSN
- 0389617X
-
- NDL BIB ID
- 6639923
-
- Text Lang
- en
-
- NDL Source Classification
-
- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles