書誌事項
- タイトル別名
-
- CH4 H2 ドライ エッチング ト ウメ コミ サイセイチョウホウ ニ ヨル GaInAsP InP ワイ ホショウ タソウ リョウシ サイセン レーザ
- 特集:量子効果デバイス(LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般
- トクシュウ リョウシ コウカ デバイス LD ヒカリ ゾウフク ヘンチョウ トウ ト シュウセキカ ギジュツ イッパン
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
-
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (162), 1-6, 2004-07-02
東京 : 電子情報通信学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520572357435220608
-
- NII論文ID
- 110003306990
- 110003302647
-
- NII書誌ID
- AA1123312X
-
- ISSN
- 09135685
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles
