多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果
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- Other Title
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- タゲンシ ブンシ イオンビーム ニ ヨル シリコン ヒョウメン ショウシャ コウカ
- Irradiation effects of silicon surface by polyatomic ion beams
- シリコン材料・デバイス
- シリコン ザイリョウ デバイス
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110 (351), 69-72, 2010-12-17
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357705419520
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- NII Article ID
- 110008676031
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 10938340
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN
