2.2 反応性プラズマにおけるシリコンクラスター・ナノ粒子形成(2.気相の物理・化学,<小特集>シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学)

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タイトル別名

反応性プラズマにおけるシリコンクラスター・ナノ粒子形成
ハンノウセイプラズマニオケルシリコンクラスター・ナノリュウシケイセイ
2.2 Formation of Silicon Clusters and Nanoparticles in Reactive Plasmas(2. Elementary Processes in Gas Phase,<Special Topic Article>Science and Technology of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for High-Efficiency Silicon Solar Cells)
反応性プラズマにおけるシリコンクラスター・ナノ粒子形成
Formation of Silicon Clusters and Nanoparticles in Reactive Plasmas
小特集シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学 ; 気相の物理・化学
ショウトクシュウシリコンケイタイヨウデンチノコウコウリツカニムケタプラズマ CVD ノカガク ; キソウノブツリ・カガク

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収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 91 (5), 323-328, 2015-05

名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

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詳細情報詳細情報について

Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/026501236; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026501236; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10459555

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