単結晶シリコンおよびN[+]イオン注入シリコンのフレッチング摩耗特性
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- タンケッショウ シリコン オヨビ N イオン チュウニュウ シリコン ノ フレッチング マモウ トクセイ
- Fretting wear of single crystal and ion-implanted silicon
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- 千葉工業大学研究報告. 理工編
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千葉工業大学研究報告. 理工編 (54), 11-19, 2007
習志野 : 千葉工業大学
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357937954432
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- NII Article ID
- 40015395002
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- NII Book ID
- AN00142534
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- ISSN
- 03857026
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- NDL BIB ID
- 8744508
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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