X-Z駆動機構を用いたインチワーム式ピエゾステージの基礎的研究
書誌事項
- タイトル別名
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- X-Z クドウ キコウ オ モチイタ インチワームシキ ピエゾステージ ノ キソテキ ケンキュウ
- Basic Study of the Inch Worm Type Piezoelectric Stage with X-Z Positioning Mechanisms
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収録刊行物
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- 東京工業高等専門学校研究報告書 = Research reports of Tokyo National College of Technology / 東京工業高等専門学校図書委員会 編
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東京工業高等専門学校研究報告書 = Research reports of Tokyo National College of Technology / 東京工業高等専門学校図書委員会 編 (45), 9-13, 2013-09
八王子 : 東京工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357941168896
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- NII論文ID
- 40019838536
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- NII書誌ID
- AN0040772X
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- ISSN
- 02860503
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- NDL書誌ID
- 024950793
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles