フッ素リサイクルに向けた半導体排ガス分解技術の開発
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- フッソ リサイクル ニ ムケタ ハンドウタイ ハイガス ブンカイ ギジュツ ノ カイハツ
- Development of Semiconductor Exhaust Gas Decomposition for Fluorine Recycle System
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- 化学工学論文集
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化学工学論文集 39 (5・6), 452-457, 2013
東京 : 化学工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358131041280
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- NII Article ID
- 40019954724
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- NII Book ID
- AN00037234
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- ISSN
- 0386216X
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- NDL BIB ID
- 025169124
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
