特集 高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用
書誌事項
- タイトル別名
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- トクシュウ コウエネルギーイオンビーム オ モチイタ ナノ マイクロ コウゾウ ソウセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ
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抄録
記事種別: 特集
収録刊行物
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- 放射線 = Ionizing radiation
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放射線 = Ionizing radiation 35 (2), 77-132, 2009-12
[東京] : 応用物理学会放射線分科会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358188582144
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- NII論文ID
- 40016956350
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- NII書誌ID
- AN00313954
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- ISSN
- 02853604
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- NDL書誌ID
- 10551072
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles