書誌事項
- タイトル別名
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- ソウロン
- (特集)レビュー CVD ; CVDプロセス技術と反応装置
- トクシュウ レビュー CVD ; CVD プロセス ギジュツ ト ハンノウ ソウチ
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収録刊行物
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- 化学工学 = Chemical engineering of Japan
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化学工学 = Chemical engineering of Japan 60 (12), 868-869, 1996-12
東京 : 化学工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358192293120
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- NII論文ID
- 10003808222
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- NII書誌ID
- AN00037212
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- ISSN
- 03759253
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- NDL書誌ID
- 4087365
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles