10nm径トライゲートナノワイヤMOSFETにおける高電界輸送特性向上と薄BOXによる閾値調整

書誌事項

タイトル別名
  • 10nmケイ トライゲートナノワイヤ MOSFET ニ オケル コウデンカイ ユソウ トクセイ コウジョウ ト ハクBOX ニ ヨル シキイチ チョウセイ
  • 10nm-Diameter Tri-Gate Silicon Nanowire MOSFETs with Enhanced High-Field Transport and Vth Tunability through Thin BOX
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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