酸化物/YSZ界面へのAuスパッタによるガス検知特性への影響
書誌事項
- タイトル別名
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- サンカブツ/YSZ カイメン エ ノ Au スパッタ ニ ヨル ガス ケンチ トクセイ エ ノ エイキョウ
- EFFECT OF Au SPUTTERING TO OXIDE/YSZ INTERFACE ON GAS SENSING PERFORMANCE
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収録刊行物
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- Proceedings of the Chemical Sensor Symposium
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Proceedings of the Chemical Sensor Symposium 55 88-90, 2013-09
長崎 : 電気化学会化学センサ研究会