(111)Si上にエピタキシャル成長させた(111)HfN膜と(111)Cu/(111)HfN積層膜のAFM観察

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  • 111 Si ジョウ ニ エピタキシャル セイチョウ サセタ 111 HfN マク ト 111 Cu 111 HfN セキソウ マク ノ AFM カンサツ

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