Epitaxial Growth of SiGe Films Grown by Ion-Beam Sputtering and Generation of Large Thermoelectric Power

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書誌事項

タイトル別名

Epitaxial Growth of SiGe Films Grown by Ion Beam Sputtering and Generation of Large Thermoelectric Power
イオンビームスパッタ法によるSiGe膜のエピタキシャル成長と巨大熱起電力の発現
2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applicat ion of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2004)
2004 Asia Pacific Workshop on Fundamentals and Applicat ion of Advanced Semiconductor Devices AWAD 2004

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (152), 91-95, 2004-06-30

東京 : 電子情報通信学会