直接酸化によるnmオーダの極薄膜を絶縁膜とするGaAs-MISFETとInAlAs/InGaAs-MISHEMTの試作

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  • チョクセツ サンカ ニ ヨル nm オーダ ノ ゴクウス マク オ ゼツエン マク ト スル GaAs MISFET ト InAlAs InGaAs MISHEMT ノ シサク

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