書誌事項
- タイトル別名
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- ニュウモン コウザ マイクロ エキタイ カラ チョクセツ ニ ハクマク デバイス オ ケイセイ スル ギジュツ マイクロ エキタイ プロセス 2 ムキ ハクマク エ ノ テキヨウ ト キョウミ アル オウヨウ
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収録刊行物
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- まてりあ = Materia Japan
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まてりあ = Materia Japan 44 (5), 411-418, 2005-05
仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358439314432
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- NII論文ID
- 10015702486
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- NII書誌ID
- AN10433227
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- ISSN
- 13402625
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- NDL書誌ID
- 7375949
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles