反応性DCマグネトロンスパッタ法による酸化チタンエレクトロクロミック薄膜の作製と評価
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンノウセイ DC マグネトロンスパッタホウニヨルサンカ チタンエレクトロクロ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 名古屋工業技術研究所報告 / 名古屋工業技術研究所総務部業務課 編
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名古屋工業技術研究所報告 / 名古屋工業技術研究所総務部業務課 編 46 (2), 61-68, 1997-02
名古屋 : 産業技術総合研究所名古屋工業技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358504429696
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- NII論文ID
- 40005041383
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- NII書誌ID
- AN10436280
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- ISSN
- 13403729
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- NDL書誌ID
- 4555883
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles