書誌事項
- タイトル別名
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- 研磨剤(Ce) 視点を変えて装置側からアプローチ
- ケンマザイ Ce シテン オ カエテ ソウチガワ カラ アプローチ
- 研磨剤(Ce) 視点を変えて装置側からアプローチ
- 特集 脱・レアメタル依存症 ; さらば安直使用
- トクシュウ ダツ レアメタル イソンショウ ; サラバ アンチョク シヨウ
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抄録
酸化セリウム(CeO2)が主成分の研磨剤は、レアメタル依存症の典型だ。それ故、「削減」「代替」の可能性を示す格好のケースにもなっている。 CeO2研磨剤は、高度な平滑面が求められる液晶ディスプレイやHDD向けガラス基板などの研磨に使われる。以前は酸化鉄(Fe2O3)が使われていたが、研磨能率と、研磨後の平滑性が優れるために、費用対効果はFe2O3よりもむしろ優れている。
収録刊行物
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- 日経ものづくり
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日経ものづくり (676), 49-51, 2011-01
東京 : 日経BP社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358535289216
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- NII論文ID
- 40017411904
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- NII書誌ID
- AA11914116
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- ISSN
- 13492772
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- NDL書誌ID
- 10921854
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- Nikkei BP
- CiNii Articles