半導体製造装置向け高緻密質セラミックス
Bibliographic Information
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- ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ムケ コウチミツシツ セラミックス
- 特集 がんばっているエンジニアリングセラミックス
- トクシュウ ガンバッテ イル エンジニアリング セラミックス
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Journal
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- Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan
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Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 38 (4), 287-290, 2003-04
東京 : 日本セラミックス協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358558421248
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- NII Article ID
- 80015854683
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- NII Book ID
- AN00131516
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- ISSN
- 0009031X
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- NDL BIB ID
- 6531563
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
