3次元型トランジスタFinFETを用いたDTMOS(FinFET型DTMOS)によるシステムLSIの高密度設計法--パターン面積の縮小効果の見積もり

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タイトル別名
  • 3ジゲンガタ トランジスタ FinFET オ モチイタ DTMOS FinFETガタ DTMOS ニ ヨル システム LSI ノ コウミツド セッケイホウ パターン メンセキ ノ シュクショウ コウカ ノ ミツモリ
  • Design method of high density system LSI with three-dimensional FinFET type DTMOS: reduction of pattern area
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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