高規則性陽極酸化ポーラスアルミナを用いたナノインプリント

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  • コウキソクセイ ヨウキョク サンカ ポーラスアルミナ オ モチイタ ナノインプリント
  • Nanoimprinting using ordered anodic porous alumina
  • 特集 ナノインプリントリソグラフィ技術における微細化と低コスト化の現状
  • トクシュウ ナノインプリントリソグラフィ ギジュツ ニ オケル ビサイカ ト テイコストカ ノ ゲンジョウ

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