時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型 触覚センサの基礎検討

Bibliographic Information

Other Title
  • ジカン オウトウセイ ノ コトナル ケンチブ オ シュウセキ シタ マイクロカンチレバーカタ ショッカク センサ ノ キソ ケントウ
  • Characterization of BiFeO₃ thin film for tactile sensor using microcantilevers with piezoelectric capacitor and strain-gauge

Search this article

Journal

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top