カーボン光吸収層を用いたシリコン膜の半導体レーザ結晶化

書誌事項

タイトル別名
  • カーボン ヒカリ キュウシュウソウ オ モチイタ シリコン マク ノ ハンドウタイ レーザ ケッショウカ
  • 特集:シリコン関連材料の作製と評価
  • トクシュウ シリコン カンレン ザイリョウ ノ サクセイ ト ヒョウカ

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