省エネ・高応答を実現する光リソグラフィ技術を用いたマイクロ空気エジェクタの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- ショウエネ ・ コウオウトウ オ ジツゲン スル ヒカリ リソグラフィ ギジュツ オ モチイタ マイクロ クウキ エジェクタ ノ カイハツ
- Development of Micro Ejector with Energy-saving and High Response Fabricated by Optical Lithography
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収録刊行物
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- 総合研究所年報 = Annual report
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総合研究所年報 = Annual report (31), 3-8, 2011
東京 : 東京電機大学総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358773277568
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- NII論文ID
- 40020324308
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- NII書誌ID
- AN10212046
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- NDL書誌ID
- 026031747
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles