スプレーCVD法によるEr2SiO5結晶薄膜の作製と評価

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タイトル別名
  • スプレー CVDホウ ニ ヨル Er2SiO5 ケッショウ ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
  • Fabrication and evaluation of Er2SiO5 crystal thin film by spray CVD method
  • 光エレクトロニクス
  • ヒカリ エレクトロニクス

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