スパッタ成膜したAl薄膜超伝導共振器の特性

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  • スパッタセイマク シタ Al ハクマク チョウデンドウ キョウシンキ ノ トクセイ
  • Properties of superconducting resonators made of a sputtered Al thin film
  • 超伝導エレクトロニクス
  • チョウデンドウ エレクトロニクス

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