光学プロファイリングのための波長走査干渉計測
Bibliographic Information
- Other Title
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- コウガク プロファイリング ノ タメノ ハチョウ ソウサ カンショウ ケイソク
- Optical profiling by wavelength scanning interferometers
- 干渉計測における最近のトピックス
- カンショウ ケイソク ニ オケル サイキン ノ トピックス
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Journal
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 37 (10), 564-569, 2008-10
東京 : 日本光学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358945328256
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- NII Article ID
- 10024339562
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- NII Book ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL BIB ID
- 9691385
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
