大きな接触力と復元力を有する低電圧駆動オーミック型RF-MEMSスイッチ

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タイトル別名
  • オオキナ セッショクリョク ト フクゲンリョク オ ユウスル テイデンアツ クドウ オーミックガタ RF MEMS スイッチ
  • Low-voltage drivable ohmic contact-type RF-MEMS switch with large contact force and restoring force

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