電子注入ストレスを加えたゲート絶縁膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析--ゲート絶縁膜劣化機構の微視的評価

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  • デンシ チュウニュウ ストレス オ クワエタ ゲート ゼツエン マク ノ デンリュウ ケンシュツガタ ゲンシカンリョク ケンビキョウ ニ ヨル カイセキ ゲート ゼツエン マク レッカ キコウ ノ ビシテキ ヒョウカ

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