MOCVD法によるGaN、GaInN上への厚膜AlInN膜のエピタキシャル成長

書誌事項

タイトル別名
  • MOCVDホウ ニ ヨル GaN 、 GaInN ジョウ エ ノ アツマク AlInNマク ノ エピタキシャル セイチョウ
  • Epitaxial growth of thick AlInN films on GaN and GaInN by MOCVD
  • レーザ・量子エレクトロニクス
  • レーザ ・ リョウシ エレクトロニクス

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