招待講演 MOVPE再成長により形成した(111)B面を有する高移動度三角形状InGaAs-OI nMOSFETs

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  • ショウタイ コウエン MOVPE サイセイチョウ ニ ヨリ ケイセイ シタ(111)Bメン オ ユウスル コウイドウド サンカク ケイジョウ InGaAs-OI nMOSFETs
  • High Electron Mobility Triangular InGaAs-OI nMOSFETs with (111)B Side Surfaces Formed by MOVPE Regrowth
  • シリコン材料・デバイス 先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集)
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス センタン CMOS デバイス ・ プロセス ギジュツ(IEDM トクシュウ)

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