書誌事項
- タイトル別名
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- テイコヒーレンス イソウ シフト カンショウホウ オ モチイタ ナノ ジュンカツマク ノ 3ジゲン ガゾウ ケイソク
- Three-dimensional measurements of nanometer-thick lubricant films using low-coherence phase-shifting interferometry
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収録刊行物
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- 日本機械学会論文集. C編
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日本機械学会論文集. C編 73 (730), 1862-1868, 2007-06
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572359118236160
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- NII論文ID
- 110006317510
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- NII書誌ID
- AN00187463
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- ISSN
- 03875024
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- NDL書誌ID
- 8872001
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN
