水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合
書誌事項
- タイトル別名
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- スイジョウキ プラズマ ニ ヨル COP ト ガラスケイ キバン ノ イシュ ザイリョウ セツゴウ
- Heterogeneous bonding between cyclo-olefin polymer (COP) and glass-like substrate by newly developed water vapor assisted plasma, Aqua Plasma Cleaner
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-6, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
