AlN薄膜とポリイミドフィルムとの積層構造によるハイブリッド圧電体

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  • AlN ハクマク ト ポリイミド フィルム ト ノ セキソウ コウゾウ ニ ヨル ハイブリッド アツデンタイ
  • Hybrid laminate piezoelectric materials composed of AlN thin films and polyimide films
  • 特集 次世代ハイブリッドマテリアル
  • トクシュウ ジセダイ ハイブリッド マテリアル

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