反応性スパッタ法によるCuInS2薄膜の作製と評価

書誌事項

タイトル別名
  • ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル CuInS2 ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
  • Preparation and characterization of CuInS2 films by reactive sputtering method
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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