金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜
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- キンゾク キザイ ハクマク センサ ソシヨウ トフ カタネンド ゼツエンマク
- Coating type clay insulating layer for metal base thin film sensor devices
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 6p-, 2018
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
