書誌事項
- タイトル別名
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- ナノ カコウ ケイソク ノ タメノ カンキョウ イッテイ セイギョ チャンバー ノ カイハツ
- A new environmental chamber for nano-meter position measurement and control on ultra-precision machine tools with interferometry
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収録刊行物
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- 日本機械学会論文集. C編
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日本機械学会論文集. C編 73 (731), 2167-2173, 2007-07
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572359445163264
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- NII論文ID
- 110006367778
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- NII書誌ID
- AN00187463
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- ISSN
- 03875024
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- NDL書誌ID
- 8903591
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles