3次元集積化とCu直接接合

書誌事項

タイトル別名
  • 3ジゲン シュウセキカ ト Cu チョクセツ セツゴウ
  • 3D integration and CU direct bonding
  • 特集 半導体パッケージ技術の最新動向 ; パッケージ組み立てにおける最新加工技術
  • トクシュウ ハンドウタイ パッケージ ギジュツ ノ サイシン ドウコウ ; パッケージ クミタテ ニ オケル サイシン カコウ ギジュツ

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