ループ型Ar/O₂誘導熱プラズマを用いたSi/SiC基板に対する高速酸化試験

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  • ループガタ Ar/O ₂ ユウドウ ネツ プラズマ オ モチイタ Si/SiC キバン ニ タイスル コウソク サンカ シケン
  • Rapid Oxidation Test of Si and SiC Surface using Ar/O₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas
  • プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
  • プラズマ パルスパワー ホウデン ゴウドウ ケンキュウカイ プラズマ ・ ホウデン ・ パルスパワー イッパン

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