単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討

書誌事項

タイトル別名
  • タンイツ Au スイ 3ジク カソクド センサ ノ タメ ノ ブンカツ ヨウリョウ ケンシュツ 2ジュウ デンキョク ニ カンスル ケントウ
  • A Study on Segmented-Capacitive-Detection Double Electrodes for single an Au Proof Mass 3-axis MEMS Accelerometer
  • マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
  • マイクロマシン ・ センサ システム ケンキュウカイ マイクロマシン ・ センサ システム ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン

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