単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討
書誌事項
- タイトル別名
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- タンイツ Au スイ 3ジク カソクド センサ ノ タメ ノ ブンカツ ヨウリョウ ケンシュツ 2ジュウ デンキョク ニ カンスル ケントウ
- A Study on Segmented-Capacitive-Detection Double Electrodes for single an Au Proof Mass 3-axis MEMS Accelerometer
- マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
- マイクロマシン ・ センサ システム ケンキュウカイ マイクロマシン ・ センサ システム ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS
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電気学会研究会資料. MSS 2020 (20-45), 7-10, 2020-07
東京 : 電気学会