MEMS技術を用いた電極分割形フレキシブルERマイクロバルブの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS ギジュツ オ モチイタ デンキョク ブンカツケイ フレキシブル ER マイクロバルブ ノ カイハツ
- Development of a Divided Electrode Type Flexible ER Microvalve Using MEMS Technologies
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収録刊行物
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- フルードパワーシステム講演会講演論文集 = The proceedings Conference of Japan Fluid Power System Society
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フルードパワーシステム講演会講演論文集 = The proceedings Conference of Japan Fluid Power System Society 82-84, 2014
東京 : 日本フルードパワーシステム学会