Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成
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- Cu パターン ノ フェムトビョウ レーザ カンゲン ビョウガ ト ナノビョウ レーザ ニ ヨル サンカマク ケイセイ
- Cu micropatterns fabricated using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles and subsequent surface oxidation using nanosecond laser
- マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
- マイクロマシン ・ センサ システム ケンキュウカイ マイクロマシン ・ センサ システム ト ソノ プロセス ギジュツ オヨビ イッパン
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- 電気学会研究会資料. MSS
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電気学会研究会資料. MSS 2020 (20-45), 107-109, 2020-07
東京 : 電気学会
