High-speed processing with Cl2 cluster ion beam
書誌事項
- タイトル別名
-
- High speed processing with Cl2 cluster ion beam
- 塩素クラスターによる高速加工
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
-
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2008年度 259-264, 2008
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室