書誌事項
- タイトル別名
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- ミラー ノ オウトウ オ コウリョ シタ ガルバノスキャナ ノ イチギメ セイギョ
- Positioning control of Galvano scanner by considering mirror response
- 産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術
- サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ナノスケールサーボ ノ タメ ノ セイギョ ギジュツ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
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電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2011 (156-171), 61-66, 2011-09-05
東京 : 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360002254592
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- NII論文ID
- 10029662479
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- NII書誌ID
- AN10074226
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- NDL書誌ID
- 11258466
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles