タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案

書誌事項

タイトル別名
  • タッピング モード AFM ニ オケル ヒョウメン ケイジョウ オブザーバ ノ テイアン
  • Proposal of surface topography observer for tapping mode AFM
  • 産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ テーマ ナノスケール サーボ ノ タメノ セイギョ ギジュツ

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