精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ--共振モードを考慮したマルチレートPWM位置制御の提案
Bibliographic Information
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- セイミツ ステージ ノ コウゾウ ニ モトズク ナノスケールサーボ キョウシン モード オ コウリョ シタ マルチレート PWM イチ セイギョ ノ テイアン
- Nanoscale servo based on mechanism for precision stage: proposal of multirate PWM positioning control considering resonance mode
- 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
- サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーションコントロール ゼンパン
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- 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
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電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2009 (90-111), 59-64, 2009-03-10
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360003153664
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- NII Article ID
- 10026068857
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- NII Book ID
- AN10074226
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- NDL BIB ID
- 10247049
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
