マルチレート制御とむだ時間補償に基づく精密実験ステージのマスタ・スレーブ同期位置制御

書誌事項

タイトル別名
  • マルチレート セイギョ ト ムダ ジカン ホショウ ニ モトズク セイミツ ジッケン ステージ ノ マスタ スレーブ ドウキ イチ セイギョ
  • Master-slave synchronous position control for experimental precision stages based on multirate control and dead-time compensation
  • 産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ナノスケール サーボ ノ タメノ セイギョ ギジュツ

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