研究速報 微細周期パターン上へのプラズマ重合膜の堆積特性
Bibliographic Information
- Other Title
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- ケンキュウ ソクホウ ビサイ シュウキ パターン ジョウ エ ノ プラズマ ジュウゴウ マク ノ タイセキ トクセイ
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Journal
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- 日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan : adhesion
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日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan : adhesion 37 (11), 433-436, 2001
大阪 : 日本接着学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360049768192
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- NII Article ID
- 10007562642
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- NII Book ID
- AN10341672
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- ISSN
- 09164812
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- NDL BIB ID
- 5965640
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
