後方散乱電子の影響によるSEMにおける分解能と温度上昇〔英文〕
書誌事項
- タイトル別名
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- コウホウ サンラン デンシ ノ エイキョウ ニヨル SEM ニ オケル ブンカ
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抄録
記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡
収録刊行物
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- 工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University
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工学院大学研究報告 = Research reports of Kogakuin University (42), p123-135, 1977-05
東京 : 工学院大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360148091392
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- NII論文ID
- 40001175963
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- NII書誌ID
- AN00080357
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- ISSN
- 03685098
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- NDL書誌ID
- 1912138
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles